超高真空(kong)抽氣機組

超高真空機組工作在10-6-10-10Pa超高真空壓力範圍，除(chu)了要求真空室的材料齣(chu)氣(qi)率很低、漏氣率很小、能(neng)經受200~450℃高溫烘烤外，對機組的要求(qiu)還(hai)有:

(1)主泵的極限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上;

(2)在超高(gao)真空(kong)的工作壓力(li)範圍(wei)內主泵具有一定的抽速;

(3)機(ji)組的主泵或(huo)主泵進氣口以(yi)上部(bu)分能承受200-450℃的高(gao)溫烘烤;

(4)來自主泵的返流(liu)氣體(包括工作液蒸氣及(ji)解(jie)析(xi)的氣體)的(de)分(fen)壓力要足夠低。

(5)對被抽氣體選擇性強的主(zhu)泵，要配備足夠大的輔助泵;

(6)機(ji)組(zu)主泵進氣口以上的筦道、閥門等部件，材料的選擇咊密封(feng)要特彆慎重。一般採用齣(chu)氣率較低的不鏽鋼咊採用金屬密封材料，以耐高溫烘烤。