(1)抽(chou)氣速率:真空泵(beng)的抽氣速率也呌生産能(neng)力，在一定(ding)溫度下，真空泵在單位(wei)時間內能從設備內抽走(zou)氣體的體積，單位m³/S或m3/h錶示(shi)。
(2)殘餘(yu)壓力:也呌極限真空即真空泵能達(da)到穩(wen)定狀態下的最低壓力，單位“Torr”或%錶示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
(3)抽氣量:在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從(cong)設備內抽走指定氣體(ti)量呌抽(chou)氣量(liang)，單位m3/h。
(4)起動壓力:真空泵開始工(gong)作時的壓(ya)力(li)。
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